For eksempel, når det gjelder Frenkel-defekter, forlater noen av ionene sine normale gittersteder og inntar interstitielle posisjoner, og skaper både ledige stillinger og interstitialer. Disse defektene er iboende i selve materialet og krever ikke tilstedeværelse av urenheter eller eksterne faktorer.
På samme måte involverer Schottky-defekter fravær av et par ioner fra deres vanlige gittersteder, og opprettholder den generelle støkiometrien til forbindelsen. Disse ledige stillingene kan oppstå naturlig under dannelsen av krystallgitteret og krever ikke introduksjon av fremmede arter.
Derfor blir støkiometriske defekter, som Frenkel- og Schottky-defekter, referert til som iboende defekter da de stammer fra de iboende egenskapene til materialets krystallstruktur og ikke involverer ytre urenheter.